製品紹介／真空システム
- 無人搬送車・AGV
- 各種装置
- 理化学機器
- 真空システム
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事業内容
| 薄膜型成装置の設計・製作 | PE-CVD |
|---|---|
| PVD | |
| 蒸着装置 | |
| 真空加熱炉 | |
| 真空コンポーネントの製造販売 （カタログ販売） | 回転導入機 |
| 直線導入機 | |
| トランスファーロッド | |
| 高真空バブル | |
| ビューポート | |
| ビューポートシャッター | |
| CF規格フランジ／継手 | |
| ISO-KF規格フランジ／継手 | |
| JIS規格フランジ／継手 | |
| 各規格フレキシブルホース | |
| 真空機器の設計・製作 | 角型ゲートバルブ |
| 丸型ゲートバルブ | |
| 大経口バルブ | |
| グローブボックス | |
| CVD用ヒーター |
コンポーネント
各種コンポーネント
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回転導入機 ベローズ式・マグネット式 直線導入機 ベローズ式 ストローク：30-100mm 搬送用ロッド マグネット式 ストローク：～1000mm 各種L型バルブ KF・CF ベローズ式 ビューポート 70CF-203CF シャッター付対応可能 KF・CF接続部分 KF・CFニップル・エルボ・クロス・フレキ その他 図面作成での部品・機構の製作
各種装置（蒸着装置・スパッタ装置・真空環境下装置）
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蒸着装置 半導体電子ビーム蒸着装置（写真参照）
有機EL用蒸着装置スパッタ装置 DC/RF スパッタ装置 真空環境下装置 グローブボックス
封止装置
張り合せ装置
TMP・CRYO 排気装置